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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种透镜真空镀膜装置-CN202020233431.3有效
发明人：杨东来;刘斌;路程;林春朋 -专利权人：长春军来光电技术有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种透镜真空镀膜装置，涉及透镜加工领域，包括真空镀膜箱；安装在真空镀膜箱右侧的真空发生组件，用于对真空镀膜箱内抽真空，保持其内部真空状态；安装在真空镀膜箱左侧的蒸发组件，用于将镀膜材料蒸汽喷入真空镀膜箱内对透镜进行镀膜；散热组件，对真空镀膜箱内部进行降温处理；透镜旋转组件，用于对透镜进行旋转。通过真空发生组件对真空镀膜箱内抽真空，保持真空镀膜箱内部真空状态；通过蒸发组件将镀膜材料蒸汽喷入真空镀膜箱内对透镜进行镀膜；通过散热组件对真空镀膜箱内散热，保证透镜不发生形变；通过透镜旋转组件对透镜进行旋转，使镀膜均匀化，提高镀膜效果。
一种透镜真空镀膜装置

[发明专利]橡胶瓶塞真空镀膜工艺-CN200610152292.6无效
发明人：徐志淮 -专利权人：徐志淮
申请日： 2006-09-30 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种橡胶瓶塞真空镀膜工艺，属于医药用橡胶瓶塞的真空镀膜技术领域。其特征在于将橡胶瓶塞集合模片整体放入真空镀膜室内进行真空镀膜。还可以是在橡胶瓶塞的集合模片的塞柱面贴附一带孔贴片，所述带孔贴片将集合模片不需镀膜部位贴附，然后将该集合模片放入真空镀膜室进行真空镀膜。还可以是将冲切的单个橡胶瓶塞排列放置在盘片上得到组合模片，然后整体放入真空镀膜室内进行真空镀膜。该橡胶瓶塞的真空镀膜工艺能够对整片的瓶塞集合模片或组合模片进行真空镀膜作业，有效提高真空镀膜的效率和产量，从而降低橡胶瓶塞真空镀膜的成本。同时该工艺还能简化瓶塞部分镀膜的操作工艺，实现高效、节约的镀膜操作。
橡胶瓶塞真空镀膜工艺

[实用新型]内壁镀膜介电管的真空镀膜设备-CN200420088146.8无效
发明人：宋伟民;孙庆仁;王化民;宋恩兆 -专利权人：中冶京诚工程技术有限公司
申请日： 2004-09-09 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种内壁镀膜介电管的真空镀膜设备，其包括一真空镀膜台，其台面下为设备层部分，其台面以上为介电管的内壁镀膜部件，该介电管内壁镀膜部件包括：固设在真空镀膜台台面上的真空镀膜座；直接以电插座方式固定插接在真空镀膜座上的真空镀膜杆；以及由介电管构成的真空室。本实用新型内壁真空镀膜设备在传统设备的基础上，增设了真空镀膜座、真空镀膜杆和利用介电管本身构成的真空室，从而实现了对介电管内壁进行镀膜的目的；这样便无需大型昂贵的真空镀膜设备，而且最大限度地缩小真空镀膜室体积，并能够大幅度降低获取高真空度的能耗。
内壁镀膜介电管真空镀膜设备

[发明专利]一种多弧型带材真空连续镀膜系统-CN202010106165.2有效
发明人：王殿儒;田玉波;王百湘;程云立;田源 -专利权人：王殿儒;唐山中土科技发展有限公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种多弧型带材真空连续镀膜系统，该镀膜系统用于卷绕带材的镀膜，所述镀膜系统包括真空室，所述真空室中设置有入口真空锁、电子枪、第一导向轮、滚轮、第二导向轮、移动杆、密封板、多弧离子源、第一真空镀膜仓、第二真空镀膜仓与出口真空锁，所述带材依次穿过所述入口真空锁、第一导向轮、通气口、第一真空镀膜仓或第二真空镀膜仓、滚轮、通气口、第二导向轮与出口真空锁，所述第一真空镀膜仓与第二真空镀膜仓交替用于带材真空镀膜，从而实现连续镀膜。本发明的多弧型带材真空连续镀膜系统通过两个真空镀膜仓交替工作方式以实现真正地真空连续镀膜。
一种多弧型带材真空连续镀膜系统

[实用新型]真空镀膜机-CN201821835459.3有效
发明人：王昆 -专利权人：天津富可达塑胶制品加工有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜的技术领域，真空镀膜机包括真空镀膜室、蒸发加热装置以及基片固定装置；所述真空镀膜室位于机架上且外接抽真空装置，所述蒸发加热装置和所述基片固定装置均位于所述真空镀膜室内部且为对应设置；所述蒸发加热装置和所述基片固定装置之间设置有用于使薄膜材料喷发均匀的网状物；所述真空镀膜室外部设置有隔热层；所述隔热层外部设置有冷却通道，并且所述真空镀膜室内部与制冷装置连通，以能够同时冷却所述真空镀膜室的内部和外壁本实用新型解决了真空镀膜不均匀冷却不到位的技术问题。
真空镀膜基片固定装置真空镀膜机真空镀膜室加热装置蒸发本实用新型隔热层室内部冷却抽真空装置薄膜材料冷却通道外部设置制冷装置不均匀室外部网状物外壁外接连通

[实用新型]一种真空镀膜腔体吊装结构-CN201920377928.X有效
发明人：瞿建强;钱拥军 -专利权人：光科真空科技(泰兴)有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜腔体吊装结构，包括顶壁设有开口的真空镀膜腔体，在所述真空镀膜腔体内部设有若干与真空镀膜腔体顶壁的一组相对侧边垂直的横梁，在所述横梁的一端或两端设有锁紧装置，所述真空镀膜腔体顶壁的开口与横梁的位置相对应本实用新型在真空镀膜腔体内部顶壁的开口处设有横梁，保证了吊装时横梁与真空镀膜腔体的安装或拆卸方式简单；横梁的一端或两端设有锁紧装置，使横梁两端与真空镀膜腔体内壁贴合牢固，防止吊装时横梁在真空镀膜腔体内发生滑动，保证了横梁与真空镀膜腔体之间的连接稳固性。
真空镀膜腔横梁顶壁本实用新型锁紧装置体内部吊装开口体内连接稳固性吊装结构横梁两端垂直的开口处滑动侧边贴合拆卸保证

[实用新型]一种高效真空镀膜设备-CN202021635391.1有效
发明人：尹刚;张华静 -专利权人：肇庆市龙泽真空设备有限公司
申请日： 2020-08-09 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效真空镀膜设备，包括真空镀膜机、运输纽带和编辑器，其特征在于：所述运输纽带贯穿连接于真空镀膜机左右两侧，所述真空镀膜机外侧固定安装有编辑器，所述编辑器外侧固定安装有显示器，所述编辑器下端固定安装有开关，所述真空镀膜机上端固定安装有进水口，所述真空镀膜机背面贯穿连接有真空泵，通过运输纽带可自动送至真空镀膜装置内，无需工作人员不断更换需镀膜制品，节省工作人员不断更换需镀膜制品的时间，可有效的提高工作效率，通过真空镀膜装置上端的进水口连接水源，可在通过真空镀膜机内侧的喷水器进行喷洒，可有效的清洗真空镀膜机内部，避免降低镀膜质量，影响镀膜制品。
一种高效真空镀膜设备

[实用新型]一种真空镀膜装置-CN202222005579.3有效
发明人：张永胜;邓天泽;郝跃;李伟;梁得刚 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜装置。该真空镀膜装置包括真空镀膜室、前过渡室、后过渡室、放卷机构和收卷机构。真空镀膜室用于向待加工件镀膜；前过渡室和后过渡室分别设置于所述真空镀膜室的两侧，所述前过渡室和所述后过渡室均能与所述真空镀膜室连通，所述前过渡室和所述后过渡室均包括依次连通的多个过渡腔，多个所述过渡腔的真空度沿靠近所述真空镀膜室的方向逐渐升高；放卷机构和收卷机构均设置于所述真空镀膜室外，所述放卷机构用于提供所述待加工件，所述待加工件依次经过所述前过渡室、所述真空镀膜室和所述后过渡室后能够被所述收卷机构收卷，实现连续送卷镀膜，避免影响真空镀膜室内的真空度
一种真空镀膜装置

[发明专利]一种真空镀膜自动生产线的真空镀膜装置-CN202010664393.1在审
发明人：王孟良;陈春奇 -专利权人：深圳天成真空技术有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种真空镀膜自动生产线的真空镀膜装置，包括真空仓、固定杆和固定面板，固定杆位于真空仓左右两侧，且固定杆与真空仓固定连接，并且固定面板位于固定杆左右两侧，同时固定杆与固定面板固定连接，真空仓内部设有摄像头，且摄像头与真空仓固定安装。该种真空镀膜自动生产线的真空镀膜装置结构稳定，使本装置在实际使用时，受热均匀，粘附性较强，不会出现脱落的现象，使物体能全面积的镀膜，另外真空镀膜自动生产线的真空镀膜装置内部的电子枪结构增加，且可调控性强，同时真空镀膜装置体积缩小，优化了真空镀膜装置内部设备，方便真空镀膜装置内部的清理和维修，使得真空镀膜装置的寿命增强，维修方便，可实用性高。
一种真空镀膜自动生产线装置

[发明专利]一种自动换靶的反应电子束蒸发设备-CN201710608527.6有效
发明人：张荣生 -专利权人：山东环邦新材料科技有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动换靶的反应电子束蒸发设备，包括真空镀膜腔、进入腔、出口腔和自动换靶装置，进入腔与出口腔分别位于真空镀膜腔的两端，进入腔远离真空镀膜腔的一侧设有第一阀门，与真空镀膜腔相连接的一侧设第二阀门；出口腔与真空镀膜腔相连接的一侧设有第三阀门，远离真空镀膜腔的一侧设有第四阀门，真空镀膜腔设有第一分子泵、第一机械泵和第一气阀，进入腔与出口腔共同连接有第二分子泵和第二机械泵；进入腔设有第二气阀，出口腔设有第三气阀；真空镀膜腔内包括电子束枪、等离子发辉器和镀膜料架，电子束枪设置在真空镀膜腔外且枪头穿过真空镀膜腔进入真空镀膜腔内，镀膜料架位于真空镀膜腔的上部。
一种自动反应电子束蒸发设备

[实用新型]一种真空镀膜装置-CN201821393521.8有效
发明人：梅艳慧 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜室、观察窗、真空隔离件和传感器，所述真空镀膜室的室壁和所述观察窗之间设置有连接管路，所述连接管路上设置有所述真空隔离件，所述传感器能够透过所述观察窗检测真空镀膜室内的基片通过在观察窗和真空镀膜室之间加设真空隔离件，利用真空隔离件调节观察窗和真空镀膜室之间的连通与断开，实现无需对真空镀膜室充大气，即可快速更换观察室玻璃，极大提高装置运行时间，并保护真空镀膜室内的真空环境。
真空镀膜室观察窗真空隔离真空镀膜装置连接管路真空镀膜传感器室内本实用新型快速更换提高装置真空环境观察室室壁断开连通玻璃检测

[实用新型]真空镀膜装置-CN201921985842.1有效
发明人：蒋贵霞;贾建国 -专利权人：昆山英利悦电子有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了真空镀膜装置，包括真空镀膜室、固定台，真空镀膜室由腔室隔板分隔为多个镀膜空间，真空镀膜室中部固定有固定架，固定架通过转动轴与电机传动连接；固定台设置在真空镀膜室底部，固定台顶部开设环形凹槽，环形凹槽内嵌入镀膜台，镀膜台上放置基材。本实用新型的真空镀膜装置能同时对多个基材进行镀膜、还可在不同镀膜空间内设定不同的镀膜参数，对基材镀膜进行对比实验，镀膜效率较高。
真空镀膜装置

[发明专利]一种卧式高温真空镀膜生产线-CN201010195043.1有效
发明人：黄国兴;孙桂红;祝海生 -专利权人：湘潭宏大真空设备有限公司
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、真空缓冲箱体和真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，所述真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。本发明结构合理、玻璃传送平稳、耐高温、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜，可工业化生产，替代现有立式真空镀膜生产线，实现大尺寸玻璃高温真空镀膜。
一种卧式高温真空镀膜生产线

[实用新型]一种卧式高温真空镀膜生产线-CN201020219143.9无效
发明人：黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空设备有限公司
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、真空缓冲箱体和真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，所述真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述真空缓冲箱体分为两组，分别设置在真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。本实用新型结构合理、玻璃传送平稳、耐高温、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜，可工业化生产，替代现有立式真空镀膜生产线，实现大尺寸玻璃高温真空镀膜。
一种卧式高温真空镀膜生产线

[实用新型]一种真空镀膜装置-CN202022553967.6有效
发明人：李健;孙宏宇;邓天容 -专利权人：江西华派光电科技有限公司
申请日： 2020-11-08 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜装置，包括真空镀膜腔和镀膜腔盖，真空镀膜腔底部设有蒸发源，所述镀膜腔盖位于真空镀膜腔上方，镀膜腔盖底部安装有基片载架夹持装置，镀膜腔盖的左侧固定在支撑板上，支撑板的下方连接着第一升降机构，支撑板的上方设有电机支架，电机支架上安装着转动电机，转动电机输出轴连接到镀膜腔盖。本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜装置，用于提高真空镀膜效率，节约人力成本。
一种真空镀膜装置

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